Q3-V靜電電壓表技術(shù)規(guī)格
Q3-V靜電電壓表如何選擇正確的儀器量測表面靜電壓
隨著科學(xué)技術(shù)的日益發(fā)展，電子元器件的工作頻率越來越高，集成化程度越來越高，這些電子元器件本身的抗靜電能力也越來越低。目前顯著存在這類問題的行業(yè)主要集中在IC，F(xiàn)PD，HDD等生產(chǎn)廠家，他們?cè)絹碓疥P(guān)心生產(chǎn)過程中存在的靜電問題。要瞭解生產(chǎn)過程中的靜電狀況，目前最主要的是使用一些儀器來測量生產(chǎn)設(shè)備、工作機(jī)臺(tái)以及產(chǎn)品本身帶靜電量。但是如何正確的選擇測量儀器又成為這些廠家另一個(gè)困惑的問題。
但電場計(jì)由於其不需要高壓放大電路產(chǎn)生電壓回朔至探頭故其價(jià)格較低。靜電電壓表特別是使用電壓跟隨(Follow)的方法，其可以量測至非常小的面積範(fàn)圍，且此電場計(jì)的精度及解析度都來得好，但由於其會(huì)產(chǎn)生一與表面電位相同的電壓在探頭上，故使用時(shí)需注意不要去觸碰此探頭。
AC-feedback靜電電壓表是一種較經(jīng)濟(jì)型的靜電跟隨型靜電電壓表﹔其不會(huì)產(chǎn)生高電壓在探頭上，在特定的D0範(fàn)圍是精確度維持一致的。舉例說明，TREK公司model 520，其在3~30mm的D0範(fàn)圍內(nèi)其精確度都維持在5%。
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名稱 |
型號(hào) |
準(zhǔn)確度％ |
規(guī)格 |
用途、特點(diǎn) |
尺寸（mm）重量 |
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靜 電 系 電 壓 表 |
Q3-V |
1.5 |
0-7-5-15-30KV 額定頻率： 20Hz-5MHz Q2-V型額定頻率 20Hz-0.5MHz |
本類儀表輸入阻抗 極高，消耗甚微． 光標(biāo)指示。造于測量直流及寬頻率范圍交流電壓，故為電子工 業(yè)、科學(xué)研究、高 能物理、實(shí)驗(yàn)電氣 計(jì)量等高壓測量工 作場所廣泛應(yīng)用。 |
552×288×249 11kg |
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Q4-V |
1.0 |
0-20-50-100KV 額定頻率： 45Hz-0.5MHz |
556×440×750 20kg |
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Q8-V |
1.5 |
0-50-100-200KV （可延長到250KV） 額定頻率： 45Hz-0.5MHz |
1000×750×1480 75kg |
Q3-V靜電電壓表有接觸式和非接觸式，一般接觸式靜電電壓表如FS3靜電計(jì)的測量精度高些，但只能適用于測量金屬體的靜電電壓或電位 ，而非接觸式測量時(shí)勿需同帶電體接觸，數(shù)字風(fēng)速儀不但能測量金屬體的靜電，也能測量絕緣體的靜電，且對(duì)被測量物體影響小。非接觸式靜電測量儀主要有 ; 直接感應(yīng)式、振動(dòng)電容式、旋轉(zhuǎn)葉片式等幾種結(jié)構(gòu)。
直接感應(yīng)式儀表經(jīng)過一段時(shí)間之后，探頭上的感應(yīng)電壓將趨近于零。因此，直接感應(yīng)式儀表不能用作固定接入的監(jiān)測儀表。但這種儀表成本很低，因而價(jià)格低廉深受用戶歡迎，但空氣中的帶電粒子、離子或儀表內(nèi)部的漏電流會(huì)使儀表讀數(shù)隨時(shí)間而漂移，在對(duì)物體測量之前要在遠(yuǎn)離被測量物體或靜電為零處清零，否測會(huì)因沒有清零或清零不正確而產(chǎn)生非常大的誤差。
Q3-V靜電電壓表旋轉(zhuǎn)葉片式 這種儀表由測量探頭，放大器、顯示儀表等環(huán)節(jié)組成。其探頭上有幾個(gè)旋轉(zhuǎn)葉片金屬極片由電動(dòng)機(jī)帶動(dòng)作旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，隨著極片不停地轉(zhuǎn)動(dòng)，感應(yīng)極片上感應(yīng)出持續(xù)的交流訊號(hào)電壓。這種儀表探頭上的交流訊號(hào)也是經(jīng)過阻抗變換、放大、檢波之后，再通過顯示儀表顯示被測電壓。
為了辨別帶電體的極性，可以借助給轉(zhuǎn)動(dòng)極片加上—定的電壓，通過儀表指示可鑒別被測帶電體電數(shù)字風(fēng)速儀壓的極性。旋轉(zhuǎn)葉片式儀表也能用做固定接 入的監(jiān)測儀表。但這種儀表探頭部分有一個(gè)小電動(dòng)機(jī)，消耗能量較多，而且容易受環(huán)境影響較大，電動(dòng)機(jī)容易磨損也會(huì)產(chǎn)生干擾，探頭體積較大。有些靜電超過量程時(shí)可能指示不但不增加，還會(huì)隨著電壓的升高而讀數(shù)變小的“反?！爆F(xiàn)象，因些不適于監(jiān)測重要部門的靜電，否則有可能出現(xiàn)極大的誤差。
集電式儀 集電式儀表是利用放射性同位素使空氣電離，借以測量被測帶電體對(duì)地電壓。其結(jié)構(gòu)原理是放射性同位素(通常用鐳)，在放射性同位素作用下，空氣被電離，在被測帶電體與探頭之間形成微弱的氣體導(dǎo)電區(qū)域，在集電片上產(chǎn)生一個(gè)直流訊號(hào)電壓，儀表探頭內(nèi)有微量的放射性同位素。由于射線有可能泄漏，使用是不要對(duì)人體測量，而且探頭前方空氣氣流速度會(huì)影響空氣電離的密度，因而影響其測量準(zhǔn)確性，在空氣流速大時(shí)根本無法測量。
振動(dòng)電容式儀表的探極上的交流訊號(hào)決定于被測帶電體的電壓和探極的振動(dòng)，不隨時(shí)間衰減，因此，這種儀表除可用作測量儀表外，還可用作固定接入的監(jiān)測儀表。而采用國際先進(jìn)技術(shù)設(shè)計(jì)的振動(dòng)電容式儀表還能在有帶電粒子或離子如高壓放電、離子風(fēng)消電器產(chǎn)生的環(huán)境中穩(wěn)定工作，也能在塵土較多，濕度較大的環(huán)境中穩(wěn)定工作。不會(huì)像直接感應(yīng)式儀表那樣產(chǎn)生漂移，也沒有旋轉(zhuǎn)葉片式儀表那樣因電動(dòng)機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)造成磨損而影響壽命和產(chǎn)生“反常”誤差，更不會(huì)像集電式儀表測量電壓那樣對(duì)人體產(chǎn)生有害的心理作用和受空氣流動(dòng)的影響。這種儀表是目前國際上技術(shù)先進(jìn)的靜電 測量儀表，但成本高因而價(jià)格也高。
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